热式气体质量流量计在光伏行业的关键应用

在光伏制造中，精确的气体流量控制直接影响电池片效率和良率。热式气体质量流量计凭借直接质量测量、高精度、快速响应等优势，成为核心工艺的可靠选择。

典型应用：

• 镀膜工艺（PECVD）：精准控制SiH₄、NH₃等气体，优化氮化硅减反射层性能。

• 扩散炉：调节POCl₃和载气流量，确保PN结均匀性。

• 废气监测：实时检测排放，满足环保要求。

其无活动部件、低维护的特性，特别适合光伏行业连续生产的需求，助力企业提升效率并降低成本。